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  11. FZ Serie Vertikale Piezo-Positioniertische

Nanomotion FZ Serie Vertikale Piezoelektrische Bewegungstische

Vertikaler piezoelektrischer Tisch der FZ-Serie für rein vertikale Bewegung

Die vertikalen piezoelektrischen Bewegungstische Nanomotion FZ ermöglichen eine rein vertikale Bewegung, während sie eine Keilachse horizontal bewegen. Die Oberseite ist mit einem Linearlager geführt, um eine horizontale Verschiebung zu verhindern, und die Z-Position wird mit einem optischen Linearencoder für Submikrometer-Präzision kodiert.

  • Fahrbereich: 10 mm
  • Motor: 1 x HR4
  • Geschwindigkeit: 50 mm/s
  • Auflösung des Encoders: 0,1μm (optional bis 10nm)
  • Geradheit und Ebenheit: ±2µm
  • Neigung und Gier: ±30 µrad
  • Tragfähigkeit: 2,5 kg
Produktanfrage

Umwelt

S (Standard), V (Vakuum)

Industrie

Biomedizin

Mechanische Spezifikationen des FZS085010

Vollständige Spezifikationen und Zeichnung

ModellFZS085010
PlattenmaterialAluminium – Schwarz eloxiert
MotorHR8 Piezo, stehende Ultraschallwelle
Lager TypPräzisionskreuzrollen mit Antimigrationsvorrichtung
EncoderLineares optisches Messgerät mit Goldmaßband
Kabellänge (m)3m
MTBF (Stunden)30,000
Plattengewicht1300g
Bewegte Masse310g
RoHSkonform
Vakuum-kompatible OptionenHochvakuum (bis 10-7 Torr) / UHV (bis 10-10 Torr) verfügbar

Datenblätter

Nanomotion Stages Catalogue

Nanomotion Positioning System User Guide

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