Präzisions-BRDF- und BTDF-Scatterometer von The Scatter Works

SphereOptics liefert BRDF- und BTDF-Scatterometer von The Scatter Works (TSW). Streumessungen können als Qualitätsmaß für optische Oberflächen und Filme verwendet werden, um Punktdefekte zu charakterisieren und werden oft als Eingabedaten für Programme benötigt, die sowohl Signal- als auch Rauschpegel in vielen komplexen optischen Systemen vorhersagen. Das TSW-Sortiment an BSDF-Streuungsmessgeräten misst den Winkelreflexionsgrad oder die Durchlässigkeit von Materialien mit sehr hoher Präzision. Als Parameter werden die bidirektionale Reflexionsverteilungsfunktion (BRDF), die bidirektionale Transmissionsverteilungsfunktion (BTDF) und die integrierte Gesamtstreuung (TIS) angegeben.

 

Ein Überblick über die BRDF & BTDF Scatterometer von The Scatter Works

Streudaten sind ein wichtiger Input für optische Design- und Raytracing-Software. Anstatt davon auszugehen, dass ein Material ein perfekter Spiegel oder ein idealer Diffusor ist, können BRDF- oder BTDF-Datensätze in kommerzielle optische Design-Software eingelesen werden, um deren Modellierungsgenauigkeit erheblich zu verbessern.

Ein Scatterometer ist ein Instrument, das den Grad der Streuung oder des Glanzes eines optischen Materials misst. Die üblicherweise verwendeten Messgrößen sind BRDF für den Reflexionsgrad und BTDF für den Transmissionsgrad. BRDF ist das Verhältnis zwischen der einfallenden Bestrahlungsstärke und der reflektierten Strahldichte für einen bestimmten Beleuchtungswinkel und für einen bestimmten Blickwinkel. Die jeweiligen Beleuchtungs- und Erfassungsebenen müssen ebenfalls angegeben werden. In ähnlicher Weise ist BTDF das Verhältnis der einfallenden Bestrahlungsstärke zur durchgelassenen Strahldichte, wiederum für bestimmte Beleuchtungswinkel (und -ebenen) und Blickwinkel. Die Summe der Streuung über eine Hemisphäre wird als integrierte Gesamtstreuung (TIS) bezeichnet.

SphereOptics liefert und unterstützt die Scatterometer von The Scatterworks (TSW), einem Unternehmen, das von John Stover, dem weltweiten Guru der Scatterometrie, betrieben wird. Die reflektierenden und transmissiven Scatterometer von TSW bieten Messungen der BRDF und BTDF vom UV bis zum mittleren IR, wobei die tatsächliche Messwellenlänge davon abhängt, welche(n) Laser der Kunde mit seinem System spezifiziert.

MicroScan Scatterometer

Der MicroScan ist ein kompaktes, erschwingliches, tragbares BRDF-Reflexionsstreuungsmessgerät, das mit einer einzigen Laserdiode (standardmäßig rote Wellenlänge) und drei Fotodioden arbeitet. Das System misst den spiegelnden Reflexionsgrad bei einem Einfallswinkel von 25° und das Streulicht bei Winkeln von 0° und -50°. Unter der Annahme, dass die Oberfläche optisch glatt ist, werden neben dem zugehörigen TIS auch isotrope Werte der r.m.s.-Rauheit von 0,01 bis 1,0µm-1 angegeben. Das Grundrauschen liegt bei etwa 10-5/sr. Der MicroScan wurde ausgiebig zur Überwachung der Alterung von großen Laseroptiken in sehr rauen Umgebungen eingesetzt.

ScatterScope 4 Scatterometer

Das ScatterScope 4 ist ein Tisch-Scatterometer, das sowohl reflektierende BRDF- als auch transmissive BTDF-Streuungsmessungen durchführen kann. Es verwendet mehrere Siliziumdetektoren, die 180 Grad abtasten, um halbkugelförmige und ebene Streuung sowohl in Reflexion als auch in Transmission zu messen. Es kann mit bis zu drei Laserdiodenquellen ausgestattet werden. Es misst nicht in der Nähe des spiegelnden Strahls und das Grundrauschen ist auf den Bereich von 10-5/sr bis 10-6/sr begrenzt. Seine großen Vorteile sind die Geschwindigkeit (1520 Sekunden pro Scan) und die Benutzerfreundlichkeit. Die Bediener können in nur wenigen Minuten geschult werden. Es ist ein ideales Instrument für die routinemäßige Qualitätsprüfung von optischen Materialien.

CASI Scatterometer

Das CASI-Scatterometer ist ein Forschungsinstrument, das mit mehreren Laserquellen konfiguriert werden kann, die vom nahen UV bis zum mittleren IR reichen. Es verwendet programmierbare Sammelöffnungen und Schrittgrößen, um Messungen innerhalb von 0,1° zum Spiegelstrahl zu ermöglichen, und es hat ein Grundrauschen von etwa 10-8/sr im Sichtbaren, das durch die Streuung an Luftmolekülen begrenzt wird. Es führt einen linearen Ebenenscan mit einem programmierbaren Einfallswinkel durch. Es erfordert ein Labor mit einem optischen Tisch (nicht mitgeliefert) und profitiert bei einigen Anwendungen von einem HEPA-gefilterten Luftstrom. Die Schulung des Bedieners dauert etwa eine Woche. Das CASI („Complete Angle Scatter Instrument“) bietet den Grad an Genauigkeit, der für Messungen in anspruchsvollen Weltraumforschungs- und Hochenergie-Laseranwendungen erforderlich ist.

TASC Scatterometer

Das TASC-Scatterometer ist im Wesentlichen ein CASI, das hemisphärische Messungen mit manuell veränderten Blenden vornimmt. Es wurden UV-, sichtbare, Mid-IR- und Breitband-Systeme gebaut.

Sie benötigen eine Messung?

SphereOptics bietet Messungen mit dem ScatterScope 4 in unserem ISO 17025 zertifizierten Labor in der Nähe von München, Deutschland, an. Kontaktieren Sie uns für weitere Informationen oder ein Angebot.

Specifications for The Scatter Works BRDF & BTDF Scatterometers

 

MicroScan

ScatterScope 4

CASI

TASC

In-Plane Measurement

5 sec

15 sec

5-10 min

5-10 min

Hemispheric Measurement

No

15 sec

No

1-5 hour

Auto TIS

Est

Yes

Est

Yes

UV-VIS-NIR

Yes

Yes

Yes

Yes

Mid IR

No

No

Yes

Yes

Visible NEBRDF

10 E06 sr-1

10 E06 sr-1

10 E08 sr-1

10 E08 sr-1

Near-Specular

N/A

5-10°

<0.1°

<0.1°

Price

£

££

£££

£££

BRDF- & BTDF-Streulichtverteilungsmessungen 

Das SphereOptics-Labor für Reflexionsmessungen ist mit einem ScatterScope 4-Scatterometer ausgestattet und bietet Messdienste für optische Streuung, entweder BRDF (bidirektionale Reflexionsverteilungsfunktion) oder BTDF (bidirektionale Transmissionsverteilungsfunktion).

Das ScatterScope4 ist ein Tisch-Scatterometer, das sowohl reflektierende BRDF- als auch transmissive BTDF-Streumessungen durchführen kann. Es verwendet mehrere Siliziumdetektoren, die 180° abtasten, um halbkugelförmige und einfallende ebene Streuung sowohl in Reflexion als auch in Transmission zu messen. Es misst mit einer Genauigkeit von 5-10° der Spiegelungsrichtung und ist mit einer sichtbaren NEBRDF (rauschäquivalente BRDF) von 10 E-06 sr-1 spezifiziert.

Das SphereOptics ScatterScope 4 ist mit austauschbaren roten (640nm) und NIR (840nm) Laserquellen für Messungen von BRDF, BTDF und TIS (Total Integrated Scatter) ausgestattet.

Kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.

 

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